鈦靶材的制造方法，包括選取鈦原料，將鈦原料熔融，并將熔湯澆鑄，澆鑄后的熔湯冷卻形成鑄錠坯料；之后立即進(jìn)行熱處理，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮蔫T錠坯料形成鈦坯；進(jìn)行第二熱處理，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮拟伵餍纬傻诙伵鳎簩Φ诙伵骼鋮s到室溫后，在室溫的環(huán)境下對第二鈦坯進(jìn)行冷軋延，形成冷軋坯；將冷軋坯做退火熱處理，得到晶粒細(xì)小且均勻的鈦靶坯，之后通過機(jī)床加工即得鈦靶材。本發(fā)明通過多次熱處理，使得鈦坯中的元素產(chǎn)生固態(tài)擴(kuò)散，來減輕化學(xué)成分分布的不均勻性，減少靶材坯料的分層現(xiàn)象，縮小晶粒尺寸；同時(shí)可消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減低硬度和脆性，增加其可塑性，減少變形與裂紋傾向。
一種鈦靶材的制造方法，鈦靶材廠家包括以下步驟：
步驟1：選取鈦原料，采用大氣熔煉或真空熔煉的方法將鈦原料熔融，并將熔湯澆鑄，澆鑄后的熔湯冷卻形成鑄錠坯料；
步驟2：將步驟1澆鑄所形成的鑄錠坯料立即進(jìn)行熱處理，熱處理的溫度為450～650℃，保溫時(shí)間0 .5～2 .5h，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮蔫T錠坯料進(jìn)行熱軋延或者空氣錘鍛打形成。
步驟3：對步驟2中形成的鈦坯進(jìn)行第二熱處理，第二熱處理的溫度為350-550℃，保溫時(shí)間為1～3h，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮拟伵鬟M(jìn)行熱軋延或者空氣錘鍛打，形成第二鈦坯；
步驟4：對步驟3得到的第二鈦坯冷卻到室溫后，在室溫的環(huán)境下對第二鈦坯進(jìn)行冷軋延，形成冷軋坯；
步驟5：將步驟4冷軋所形成的冷軋坯做退火熱處理，退火熱處理溫度為300～700℃，時(shí)間為1～5h，得到晶粒細(xì)小且均勻的鈦靶坯，之后通過機(jī)床加工即得鈦靶材。
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