靶材的應(yīng)用領(lǐng)域比較廣泛在半導(dǎo)體領(lǐng)域、面板顯示領(lǐng)域、光伏電池領(lǐng)域等領(lǐng)域中都有一定作用，而在半導(dǎo)體領(lǐng)域中應(yīng)用的靶材就叫做半導(dǎo)體靶材，半導(dǎo)體靶材的應(yīng)用要求比較嚴(yán)苛，對(duì)于靶材的成分、組織、性能都有一定的要求，那么半導(dǎo)體靶材是什么呢，有什么種類？凱澤金屬帶大家來(lái)了解一下。
一、半導(dǎo)體靶材是什么
半導(dǎo)體靶材也是濺射靶材的一種，是主要應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域使用的靶材。在半導(dǎo)體芯片的硅片制造、晶圓制造、芯片封裝等幾個(gè)制作環(huán)節(jié)中，晶圓制造和芯片封裝都是需要使用半導(dǎo)體靶材的。
半導(dǎo)體靶材的主要作用就是在芯片上制作能傳遞信息的金屬導(dǎo)線，具體的制作過程是先利用高速離子流在真空的條件下去轟擊不同種類的濺射靶材表面，這個(gè)過程主要作用是將各種靶材表面的原子一層層地沉積到半導(dǎo)體芯片的表面，之后將在芯片表面上沉積的金屬薄膜刻成納米級(jí)別大小的金屬線，并使用這個(gè)金屬線連接芯片內(nèi)部的微型晶體管，達(dá)到傳遞信號(hào)的功能。
二、半導(dǎo)體靶材的分類
1、銅靶
銅靶材主要應(yīng)用在導(dǎo)電層，因?yàn)楦呒冦~材料的電阻比較低，對(duì)于芯片的集成度提高比較有效，因此在110nm下的技術(shù)節(jié)中多被作為布線材料來(lái)使用
2、鉭靶
鉭靶材用在阻擋層，主要用在12英寸晶圓片90nm以下的半導(dǎo)體芯片中。
3、鋁靶
鋁靶材應(yīng)用在導(dǎo)電層，高純鋁靶在制作半導(dǎo)體芯片導(dǎo)電層中應(yīng)用比較廣，但因?yàn)轫憫?yīng)速度問題，在110nm以下的技術(shù)節(jié)點(diǎn)中應(yīng)用較少。
4、鈦靶
鈦靶主要應(yīng)用在阻擋層，高純鈦靶在8英寸晶圓片130nm和180nm的技術(shù)節(jié)點(diǎn)上多有應(yīng)用。
5、鈷靶
鈷靶應(yīng)用在接觸層，這種靶材能夠在芯片表面的硅層上形成一層薄膜，起到一定的接觸作用。
6、鎢靶
鎢靶主要是應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片存儲(chǔ)器領(lǐng)域中。
7、鎢鈦合金靶
這類靶材應(yīng)用在接觸層，因?yàn)殒u鈦合金有著電子遷移率低的優(yōu)點(diǎn)，因此可以作為接觸層的材料用在芯片的門電路中。
以上就是凱澤金屬給大家?guī)?lái)的有關(guān)半導(dǎo)體靶材是什么及半導(dǎo)體靶材的種類介紹，相信您在讀完上述文章后對(duì)半導(dǎo)體靶材有了一定的了解。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體靶材之后的應(yīng)用前景還是比較廣闊的，如果您還想了解更多有關(guān)靶材的相關(guān)信息，歡迎向我們留言咨詢。
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